*產品分類
外型尺寸和接口方式
一、產品分類
· 硅微壓力傳感器測量類型分類
A（絕壓） D（差壓） G（表壓）
· 硅微壓力傳感器量程分類
0.15psi~3psi（1kPa~20 Pa）
| |
5651 |
5652 |
|
| 以 |
5551 |
5552 |
型號命名為低壓量程段 |
| |
5350 |
5450 |
5103 |
5psi~100psi（35kPa~700 Pa）
| |
5501 |
5502 |
|
| 以 |
5310 |
5410 |
型號命名為高壓量程段 |
| |
5350 |
5612 |
5102 |
· 硅微壓力傳感器以溫補特征分類
55系列 56系列為帶溫補型,溫度范圍0~70°C,0~60°C
53系列 54系列 5102 5103芯片為不帶溫補型
· 硅微壓力傳感器以封裝型式分類
55系列為塑封 56、54系列為陶瓷封裝
5102、5103為裸片，即為傳感器芯片，未加封裝
· 硅微壓力傳感器以電氣引腳方式分類
55系列為單列6引腳輸出
53 54 56為雙列6引腳輸出
· 硅微壓力傳感器以驅動電源類型分類
5551 5501 5651 5611末位為“1”為恒流驅動工作
5552 5502 5652 5612 末位為“2”為恒壓驅動工作
53系列 54系列 5102 5103即可以為恒流驅動工作，也可為恒壓驅動工作
二、產品外形尺寸
附圖2~圖5
圖2
SM53、SM54系列傳感器外形尺寸圖
圖3
SM55系列傳感器外形尺寸圖
圖4
SM56系列傳感器外形尺寸圖
圖5
SM51系列傳感器外形尺寸圖
三、接口方式
通常采用軟管連接，軟管材質通常為膠 管，橡膠管，壁厚保證在1mm或者尼龍硬管配合連接。若采用金屬管連接，需配置金屬密封過渡接頭。
四、產品型號總攬
量程：0.15psi（1KPa）、0.3psi（2KPa）、0.8psi（5KPa）、1.5psi（10KPa）
恒
流
型
|
型
號
|
5551 |
壓力測量類型 |
5651 |
表壓---G |
5350
5450 |
差壓----D |
5103 |
絕壓---A |
恒
壓
型
|
型
號
|
5552 |
壓力測量類型 |
5652 |
表壓---G |
5450
5350 |
差壓----D |
5103 |
絕壓---A |
量程 5psi（35KPa）、15psi（100KPa）、30psi（200KPa）、60psi（400KPa）、100psi（700KPa）
恒
流
型
|
型
號
|
5501 |
壓力測量類型 |
5611 |
表壓---G |
5410
5310 |
差壓----D |
5102 |
絕壓---A |
恒
壓
型
|
型
號
|
5502 |
壓力測量類型 |
5612 |
表壓---G |
5410
5310 |
差壓----D |
5102 |
絕壓---A |
返回
*產品技術參數
一、 SM55系列產品技術參數
（一）、電氣連接方式 附圖6、圖7
圖6
SM5501型和SM5502型電氣連接方式
圖7
SM5551型和SM5552型電氣連接方式
（二）、SM55系列性能指標及測試條件
１、5501型，Iexc=1.5mA T=25°C； 5502型，Vexc=10.0V
| 參數 |
最小值 |
標準值 |
最大值 |
單位 |
激勵
電流(5501)
電壓(5502) |
0.00
0.00 |
1.50
10.00 |
3.00
20.00 |
mA
V |
輸出（FS）
FS(5501)*
FS(5502)
零壓 |
50.0
49.5
-1.00 |
100.0
50.0
. +/-0.2 |
170.0
50.5
1.00 |
mV
mV
mV |
溫度系數
滿量程**
零點**
溫度滯后 |
-1.20
-1.20
-0.15 |
±0.20
±0.20
±0.05 |
1.20
1.20
0.15 |
%FS/100°C***
%FS/100°C
%FS |
精度
線性****
重復性
遲滯 |
-0.15
-0.15
-0.15 |
±0.05
±0.05
±0.05 |
0.15
0.15
0.15 |
%FS
%FS
%FS |
阻抗(5501)*
輸入
輸出
阻抗(5502)
輸入
輸出 |
2.20
2.90
.
4.50
2.00 |
3.00
3.00
.
8.00
2.50 |
3.80
3.80
.
15.00
3.80 |
K?
K?
.
K?
K? |
溫度范圍
標 定
使 用
儲 存 |
0
-40
-55 |
－
－
－ |
70
85
125 |
°C
°C
- |
過載特性
耐壓
瞬間壓力 |
.
3倍滿量程輸出或22.5psi，兩者取最小值
5倍滿量程輸出或22.5psi，兩者取最小值 |
* 外增益補償電阻（5501型）見應用說明5500-1
** 測量超過0~70°C溫度范圍，見應用說明5500-1
*** FS表示滿量程輸出
**** 最佳直線擬合
命名方式
5 5 0 1 ---- 015 --- A
壓力類型 A：絕壓
D：差壓
G：表壓
壓力范圍 005：5psi
015：15psi
030：30psi
060：60psi
100：100psi
激勵：1：電流
2：電壓
傳感器型號
SM5551和5552系列性能指標及測試條件
２、5551型，Iexc=1.5mA T=25°C； 5552型，Vexc=10.0V
T=25°C（除非另有說明）
| 參數 |
最小值 |
標準值 |
最大值 |
單位 |
激勵
電流(5551)
電壓(5552) |
0.00
0.00 |
1.50
10.00 |
3.00
20.00 |
mA
V
|
輸出（FS）
FS(5551)*
FS(5552)
零壓 |
25.0
24.5
-2.00 |
50.0
25.0
|
75.0
25.5
2.- |
mV
mV
mV
|
溫度系數
滿量程**
零點**
溫度滯后 |
-1.20
-2.40
-0.45 |
±0.20
±0.20
±0.05 |
1.20
1.20
0.15 |
%FS/100°C***
%FS/100°C
%FS
|
精度
線性****
重復性
遲滯 |
-0.30
-0.30
-0.30 |
±0.05
±0.05
±0.05 |
0.30
0.30
0.30 |
%FS
%FS
%FS
|
阻抗(5551)*
輸入
輸出
阻抗(5552)
輸入
輸出 |
2.20
2.90
.
4.50
2.00 |
3.00
3.30
.
8.00
2.50 |
4.60
4.80
.
25.00
4.50 |
K?
K?
.
K?
K?
|
溫度范圍
標 定
使 用
儲 存 |
0
-40
-55 |
－
－
－ |
70
85
125 |
°C
°C
-
|
過載特性
耐壓
瞬間壓力 |
.
3倍滿量程輸出
5倍滿量程輸出 |
* 外增益補償電阻（5551型）見應用說明5500-1
** 測量超過0~70°C溫度范圍，見應用說明5500-1
*** FS表示滿量程輸出
**** 最佳直線擬合,量程為0.3psi時的線性精度為±0.5%(最大值)
°C
命名方式
５５５１ ---- ００８ --- D
壓力類型 A：絕壓
............D：差壓
............G：表壓
壓力范圍 001：0.15psi
............003：0.3psi
............008：0.8psi
............015：1.5psi
............030：3.0psi
..激勵：1：電流
..........2：電壓
傳感器型號
二、ＳＭ56系列產品技術參數
（一） 、電氣連接方式
圖8
SM56系列產品電氣連接方式
（二） 、性能指標及測試條件
SM5611型和SM5651型傳感器
供應電流=1.5mA及T=25°C 除非另有規定
| 參數 |
SM5611 |
|
SM5651 |
單位 |
| 最小 |
標準 |
最大 |
|
最小 |
標準 |
最大 |
| 電流激勵 |
0 |
1.5 |
3 |
|
0 |
1.5 |
3 |
mA |
| 滿量程輸出跨度 |
75 |
100 |
150 |
|
25 |
50 |
75 |
mV |
| 零壓力輸出 |
|
|
2 |
|
|
|
2 |
±mA |
| 線性 |
|
|
0.1 |
|
|
|
0.3 |
±%FS |
| 壓力滯后 |
|
|
0.1 |
|
|
|
0.3 |
±%FS |
| 輸入電阻 |
2.2 |
|
6.0 |
|
2.5 |
|
6.0 |
K? |
| 輸出電阻 |
2.5 |
|
6.0 |
|
2.5 |
|
6.0 |
K? |
| 溫度系數...跨度 |
|
|
0.5 |
|
|
|
0.65 |
±%FS |
| 溫度系數...零 |
|
|
0.5 |
|
|
|
1.0 |
±%FS |
| 熱滯后...零 |
|
0.1 |
|
|
|
0.1 |
|
±%FS |
| 供應電流 |
|
1.5 |
2.0 |
|
|
1.5 |
2.0 |
mA |
| 響應時間(10%~90%) |
|
1.0 |
|
|
|
1.0 |
|
msec |
| 敏感度配合 |
|
|
1.0 |
|
|
|
1.0 |
±% |
| 壓力過載 |
|
|
3X |
|
|
|
3X |
Rated |
| 操作溫度范圍 |
-40 |
|
125 |
|
-40 |
|
125 |
°C |
| 補償溫度范圍 |
0 |
|
60 |
|
0 |
|
60 |
°C |
| 存儲溫度范圍 |
-55 |
|
150 |
|
-55 |
|
150 |
°C |
| 介質 |
|
|
|
|
|
|
|
|
| 重量 |
|
3 |
|
|
|
3 |
|
Grams |
備注:
1、 無放大傳感器輸出跨度
2、 補償電阻是傳感器整體的一部分，不需要額外電阻
3、 最佳擬合直線（BFSL）的線性，對SM5651的0.3 psi系列,線性是±0.5%FS,對0.15psi系列,線性是±1.0%FS
4、 FS表示滿量程輸出
5、 在補償溫度范圍測定
6、 對0.15psi系列,TC－0是±2.5%FS
7、 對SM5611，3X或22.5psi看誰更小，對SM5651，3X或5psi,，看誰更大。
8、 介質清潔，干氣體。
SM5612型和SM5652型傳感器
供應電流=10.0VDC及T=25°C 除非另有規定
| 參數 |
SM5612 |
|
SM5652 |
單位 |
| 最小 |
標準 |
最大 |
|
最小 |
標準 |
最大 |
| 電流激勵 |
0 |
10 |
20 |
|
0 |
10 |
20 |
V |
| 滿量程輸出跨度 |
39.5 |
40.0 |
40.5 |
|
24.5 |
25 |
25.5 |
mV |
| 零壓力輸出 |
|
|
2 |
|
|
|
2 |
±mV |
| 線性 |
|
|
0.1 |
|
|
|
0.3 |
±%FS |
| 壓力滯后 |
|
|
0.1 |
|
|
|
0.3 |
±%FS |
| 輸入電阻 |
2.5 |
|
6.0 |
|
2.5 |
|
6.0 |
K? |
| 輸出電阻 |
2.5 |
|
6.0 |
|
2.5 |
|
6.0 |
K? |
| 溫度系數...跨度 |
|
|
0.5 |
|
|
|
0.65 |
±%FS |
| 溫度系數...零 |
|
|
0.5 |
|
|
|
1.0 |
±%FS |
| 熱滯后...零 |
|
0.1 |
|
|
|
0.1 |
|
±%FS |
| 供應電流 |
|
1.5 |
2.0 |
|
|
1.5 |
2.0 |
mA |
| 響應時間(10%~90%) |
|
1.0 |
|
|
|
1.0 |
|
msec |
| 敏感度配合 |
|
|
1.0 |
|
|
|
1.0 |
±% |
| 壓力過載 |
|
|
3X |
|
|
|
3X |
Rated |
| 操作溫度范圍 |
-40 |
|
125 |
|
-40 |
|
125 |
°C |
| 補償溫度范圍 |
0 |
|
60 |
|
0 |
|
60 |
°C |
| 存儲溫度范圍 |
-55 |
|
150 |
|
-55 |
|
150 |
°C |
| 介質 |
|
|
|
|
|
|
|
|
| 重量 |
|
3 |
|
|
|
3 |
|
Grams |
備注:
1、 無放大傳感器輸出跨度，對0.15psi,跨度為23.75mV(最小)至26.25mV(最大)。
2、 補償電阻是傳感器整體的一部分，不需要額外電阻。
3、 最佳擬合直線（BFSL）的線性，對SM5652的0.3psi系列，線性是±0.5%FS，對0.15psi系列,線性是+/-1.0%FS
4、 FS表示滿量程輸出。
5、 在補償溫度范圍測定。
6、 對0.15psi系列,TC－0是+/-2.5%FS。
7、 供零至全標尺壓力級變換。
8、 介質清潔，干氣體。
三、SM53和SM54系列產品技術參數
（一）、電氣連接方式
圖10
SM53系列產品電氣連接方式
圖11
SM54系列產品電連接方式
（二）、性能指標及測試條件
Vexc=5.0 T=室溫（除非另有說明）
| 參數 |
最小值 |
標準 |
最大值 |
單位 |
| 電壓激勵 |
0 |
5.0 |
10.0 |
V |
| 電流激勵 |
0 |
1.5 |
3.0 |
mA |
| 零壓輸出 |
-50 |
0 |
50 |
mV |
|
|
|
|
|
溫度系數
滿量程**
零點**
電 阻
|
±22+5
±12
28±5
|
%FS/100°C
%FS/100°C
%FS/100°C |
| 線性精度*** |
-0.3 |
±0.1 |
0.3 |
%FS |
| 橋式阻抗 |
2.7 |
3.3 |
4.0 |
K? |
溫度范圍
使 用
儲 存
|
-40
-55 |
|
85
125 |
°C
°C
|
過載特性
耐壓
瞬間壓力****
|
>3倍滿量程輸出
>5倍滿量程輸出
|
5310,5410型低壓力系列
| 滿量程輸出 |
最小值 |
標準 |
最大值 |
單位 |
5psi
15psi
30psi
60psi
100psi
|
75
115
130
130
130
|
100
145
165
180
200
|
125
175
195
220
250
|
mV
mV
mV
mV
mV
|
| 精度**** |
-0.3 |
±0.05 |
+0.3 |
%FS |
零點
溫度系數*
|
|
±7 |
|
%FS/100°C |
5350,5450型低壓力系列
| 滿量程輸出 |
最小值 |
標準 |
最大值 |
單位 |
0.3psi
0.8psi
1.5psi
3.0psi |
25
25
25
25 |
50
50
50
50 |
75
75
75
75 |
mV
mV
mV
mV |
| 精度**** |
-0.3 |
±0.1 |
+0.3 |
%FS |
零點
溫度系數*
|
|
±12 |
|
%FS/100°C |
* 測量從0~70°C
** 低于額定值的3倍或5倍，最大壓力為225psi
*** 在Vexc=5V時測定
**** 最佳直線擬合,量程為0.3psi時的線性度+/-0.5%FS
命名方式
５３５０ ---- 008 --- G ---P
取壓方式P：取壓管式
........H：取壓孔型
壓力類型 A：絕壓（僅5310，5350型）
..........G：表壓
壓力范圍
傳感器型號
四、SM51系列產品技術參數
（一）、電氣連接方式
圖12
SM5103型電氣連接方式
圖13
SM5102型系列產品電連接方式
（二）、性能指標及測試條件
5103型，Vexc=5.0 T=25°C（除非另有說明）
| 參數 |
最小值 |
標準 |
最大值 |
單位 |
| 激勵 |
|
|
|
|
| 電壓 |
0 |
5.0 |
10.0 |
V |
| 電流 |
0 |
1.5 |
3.0 |
ma |
輸出
0.3psi
0.8psi
1.5psi
3.0psi
零壓
|
25
25
25
25
-50
|
50
50
50
50
0
|
75
75
75
75
50
|
mV
mV
mV
mV
mV
|
溫度系數
滿量程**
零點**
阻抗
|
±22+5
±12
28±5
|
%FS/100°C
%FS/100°C
%FS/100°C |
| 線性精度*** |
-0.3 |
±0.1 |
0.3 |
%FS |
| 橋式阻抗 |
2.7 |
3.3 |
4.0 |
K? |
溫度范圍
使 用
儲 存
|
-40
-55 |
|
85
125 |
°C
°C
|
過載特性
耐壓
瞬間壓力****
|
>3倍滿量程輸出
>5倍滿量程輸出
|
* 在恒壓5V激勵下測量
** 在0~70°C測量
*** 最佳直線擬合,量程為0.3psi時的線性度為±0.5%(最大)
**** 最大至20倍滿量程輸出
命名方式
５１０３ ---- 008 --- G
壓力類型 G：表壓
壓力范圍 003：0.3psi
..........008：0.8psi
..........015：1.5psi
..........030：3.0psi
芯片型號
5102型，Vexc=5.0 T=25°C（除非另有說明）
| 參數 |
最小值 |
標準 |
最大值 |
單位 |
| 激勵 |
|
|
|
|
| 電壓 |
0 |
5.0 |
10.0 |
V |
| 電流 |
0 |
1.5 |
3.0 |
ma |
輸出
5psi
15psi
30psi
60psi
100psi
300psi
零壓
|
75
115
130
130
130
130
-50
|
100
145
165
180
200
220
0
|
125
175
195
220
250
275
50
|
mV
mV
mV
mV
mV
mV
mV
|
溫度系數
滿量程**
零點**
阻抗
|
-22+5
±12
28±5
|
%FS/100°C
%FS/100°C
%FS/100°C |
| 線性精度*** |
-0.3 |
±0.05 |
0.3 |
%FS |
| 橋式阻抗 |
2.7 |
3.3 |
4.0 |
K? |
溫度范圍
使 用
儲 存
|
-40
-55 |
|
85
125 |
°C
°C
|
過載特性
耐壓
瞬間壓力****
|
>3倍滿量程輸出
>5倍滿量程輸出
|
* 在恒壓5V激勵下測量
** 在0~70°C測量
*** 最佳直線擬合
命名方式
５１０２ ---- 060 --- G
壓力類型 A：絕壓
..........G：表壓
壓力范圍 005：5psi
..........015：15psi
..........030：30psi
..........060：60psi
..........100：100psi
..........300：300psi
芯片型號
*產品技術應用
硅壓阻式傳感器全固態、體積小、重量輕、價格低廉，隨著集成電路制造技術極微機械加工技術的不斷發展，其產品性能會逐步提高，此產品在智能機器人、航空航天、生物醫學工程、汽車工業及家用電器等眾多領域有著很高的應用前景。
SM5000系列傳感器的前景在于它的高靈敏度、極低廉的成本及通用性。基本傳感器結構還可改制成不同類型的傳感，這種功能將開辟新的應用領域。該種性能技術的影響是十分深遠的，實際上開創了一個無所不能的壓力傳感器的新市場。應用遍及醫療電子學到HVAC各個領域。
在醫療領域，目前使用的壓力傳感器是非產昂貴的，超低壓傳感器可用于血壓測量及重點看護病人的呼吸監測。在通風與供暖系統中，空調器的均恒性是最大的問題。目前的實施方案是極其復雜的，在價格上是接受不了的。超低壓傳感器提供一種更廉價的解決方案，而其分辨力與前者一樣。因此他解決了智能大廈應用中空氣流通與均衡的一大難題。
其他的應用包括氣體分析、色普及混合、車輛燃油蒸氣的復原等。傳感器結構的另一個特點是器件在較低的壓力處仍有良好的性能特性，這可用于需要高性能、高壓器件的場合包括自行車和滑雪應用的測高計。
SM5000系列傳感器具體應用技術實例
SM5552壓力傳感器與四個放大器接成圖16所示電路，即構成標準輸出0~5V壓力變送器。MC33274是一種輸入失調電壓低雙極型四運放集成電路，常在這類變送器中使用。圖中傳感器的（+）輸出端（5）接到放大器UIA的同相輸入端（3）。傳感器的(-)輸出端(1)接到放大器UIB的同相輸入端(5)
這兩處放大器輸出端（7）和（1）的電壓差與傳感器輸出信號電壓的比值，即放大倍數K=1+（R8+R9）/
R10。這兩個放大器輸出端的共模電壓與傳感器輸出端的共模電壓相等。按這種接法，UIA和UIB隨溫度漂移的失調電壓（假定相同）也只能以共模電壓的形式在UIA和UIB輸出端出現。放大器UIC與四個相同的電阻R2、R3、R4、R5組成放大倍數為-1的差分放大器，它將輸入的共模電壓全部抑制。
因此我們從（7）端輸出得到的是K被傳感器輸出信號，放大器UIA和UIB的失調電壓不能對輸出產生影響，至于UIC本身的溫度漂移，由于放大倍數僅為-1，故可忽略。UID及其附屬電路目的是向UIC提供一個可調的調零電位。
SM5552壓力傳感器與集成電路XTR101接成圖15所示電路即構成標準輸出為4~20mA的兩線制壓力變送器。XTR101是美國BB公司開發的變送器微型電路，它具有儀表放大器的輸入特性，失調電壓最大僅30üV，溫度漂移0.75üV/C，輸出由它的（10）（11）兩端并聯的穩壓管保證。
傳感器的輸出端（5）（1）分別接到XTR101的（3）（4）輸入端，（1）（2）（14）端的外接電阻R4和電位器R6組成調零電路，用于零壓力時調輸出電流4mA，（5）（6）兩端外接電阻R3和電位器R5供調節滿量程壓力時輸出為20mA。
（12）端控制的雙結功率管Q1及電阻R1，目地是減小XTR101的工作電流，從而降低其溫升，以保證其性能的穩定。這個系統的電源電壓為24V。
圖14
輸出0~5V壓力變送控制器
圖15
輸出為4~20mA的兩線制的壓力變送控制器
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